- 岡﨑 伊喜夫が東京都杉並区にエリオニクスを設立
- エリオニクス設立・半導体関連装置の開発製造開始
1975年3月に東京都杉並区で創立。
元は電気・電子・機械系の7名のエンジニアによって立ち上げられ、「科学技術の進歩に貢献する創造企業」を志して出発しました 。
同年6月には武蔵野市中町に移転し、半導体関連装置の研究開発・製造を本格的に開始しました。
- 電子ビーム描画装置ELS‑2を開発
創業から3年後の1978年、自社開発体制を強化し、
研究開発向けの電子ビーム描画装置「ELS‑2」をリリース。
これが後のELSシリーズの出発点となりました。
- 本社工場を八王子市元横山町に新設
1983年1月、八王子市元横山町に本社工場を竣工。
これにより生産能力が飛躍的に向上し、
以降のELS製品拡張やクリーンルーム導入の基盤となりました。
- ELS‑3700を開発（線幅50 nm、低価格）
1992年には、描画線幅50 nmを実現した中低価格帯モデル
「ELS‑3700」を開発。これにより大学や研究所にとって
導入しやすい選択肢を提供しました。
- 世界初！線幅10 nm以下を達成したELS‑7700
1996年、世界で初めて10 nm以下の描画を可能とした
「ELS‑7700」を発表。ELSシリーズが世界最先端として
認知されるきっかけとなりました。
- ナノテクシステムセンター完成（八王子市左入町）
2003年11月、八王子左入町に「ナノテクシステムセンター」を
新設。クリーンルームや最終組立検査機能を備え、一連のナノ加工プロセスのテストや提案が可能な体制を整えました。
- ELS‑F125開発（世界最小5 nm保証）
2010年、世界で最も微細な「5 nm描画保証」を備えた超高精細高精度電子ビーム描画装置「ELS‑F125」を開発し、学術・先端研究の非常に高い要求に応えました。
- ELS‑F150開発（150 kV加速電圧）
2018年に発表された「ELS‑F150」は、加速電圧150 kVという世界最高水準での描画性能を備え、微細加工の速度と精度をさらに向上させました。
- ELS‑BODEN/BODENΣリリース（12 inch、400 MHz）
2022年、12 inchフル描画に対応し、最高スキャンクロック400 MHzを実現した「ELS‑BODEN」および高速モデル「BODENΣ」をリリース。生産用途への拡張が加速しました。
- ELS‑ORCAをリリース（R&D向け高性能・低価格）
2023年、R&D用途に特化し、高性能かつ低価格を両立した新機種「ELS‑ORCA」を投入。研究機関向けの市場競争力をさらに強化しました。
会社沿革
- 1975年 3月
- 東京都杉並区に資本金500万円で設立。代表取締役社長 岡﨑 伊喜夫
- 1975年 6月
- 武蔵野市中町に拡大移転し、半導体関連装置の開発製造開始
- 1977年 6月
- 八王子市千人町に拡大移転し、資本金3,000万円に増資
- 1979年 6月
- 資本金4,500万円に増資
- 1981年 11月
- 東京中小企業投資育成（株）より転換社債として融資を受ける
- 1983年 1月
- 八王子市元横山町に本社工場を竣工
- 1984年 8月
- 大阪市西中島に大阪営業事務所を開設
- 1985年 11月
- 社債の転換を含め、資本金8,500万円に増資
- 1990年 4月
- 本社ショールーム完成
- 1992年 12月
- 代表取締役社長に本目 精吾 就任
- 2002年 6月
- 大阪営業所（現 西日本営業所）を大阪府池田市に移転
- 2003年 10月
- 資本金を1億7,000万円に増資
- 2003年 11月
- 八王子市左入町にナノテクシステムセンター完成
- 2008年 10月
- 資本金を2億7,000万円に増資
- 2009年 12月
- 代表取締役社長兼COOに牧内 昌幸 就任
- 代表取締役会長兼CEOに本目 精吾 就任
- 2011年 12月
- 代表取締役社長兼COOに岡林 徹行 就任
- 2013年 12月
- 代表取締役社長に岡林 徹行 就任
- 2018年 11月
- 中国深圳市にELIONIX（CHINA）を100％出資子会社として設立
- 2018年 12月
- 代表取締役会長に岡林 徹行 就任
- 代表取締役社長に七野 実 就任
- 2023年 12月
- 代表取締役に菊地 洋介 就任
- 2024年 1月
- 西日本営業所を大阪市淀川区西中島に移転
国内外の表彰・認定・受賞歴をご紹介します。
信頼あるものづくりを支える、確かな実績です。
